mems国产化

第474期|三年布局，万片产能：华鑫微纳的MEMS国产化路径

张胜兵先生长期专注于MEMS（微机电系统）智能传感器与微系统技术的前沿研究与产业化应用。在其主导下，公司成功建设并完善了6/8英寸MEMS工艺平台，开发了多套具有自主知识产权的核心集成工艺，为产品的批量制造和迭代升级奠定了坚实的技术基础。